预脉冲首先击中锡珠，使它变成正确的形状，随后主脉冲将压扁的锡珠转化为等离子体，从而发射出满足条件的 EUV光。
EUV光刻步骤：
1）激光脉冲被放大到非常高的功率，输出超过 30kW平均脉冲功率的激光。
2）不断滴下的锡珠被激光束击中成为一个发光的等离子体，发射出波长为指定数值的的 EUV光。
3）极紫外光聚焦后，通过反射透镜首先传输到光刻掩模上，然后照射到晶圆基片上。
技术难点：
1）放大阶段会不断增加它的功率，但必须确保两个光束在锡珠上有正确的聚焦，同时还要满足其他光学性能。
2）由于每束脉冲激光都由非常微小的、紧凑的光粒子组成，需要紧紧地抛向锡珠为了正确地击中它们的目标，它们必须在正确并精确的瞬间到达；否则，冲击力将无法压平锡珠。
3）激光束以极大的功率稳定传输，同时还要准确无间的和其他部件协作，系统的复杂性极高，研究光源的同时，其他部分也需要同时开启研发。
从这两个目标的大纲规划来看，第一个目标相对容易，有现成的研究成果支撑，只需要不断的调整即可。
最难的是第二个工程，EUV光刻机的技术论证是一个极其庞大的过程，李树的超级数据库里，虽然已经有成熟的整机可供参考，不过以目前现实的技术条件来说，最关键的部分还是难以开始。
可以确定的是，西方发达国家已经从现在开始了对EUV光刻机的研究工作，同时倾注了大量的财力和人力，华夏虽条件不如人家，可也要奋起直追了。
马瑶翻了一会儿复杂的技术资料，叹了一口气道：“第一个目标倒是只需要花时间即可，可第二个目标极紫外光光刻机的第一步就难住咱们了，超过30Kw的激光脉冲仪器，其中涉及的材料好复杂，很多目前国际上都还没有。”
“就是要做目前国际上没有的，相关的理论技术我已经完成整理，咱们一步一个脚印的突破即可！”李树鼓励道。
为了产生大功率的激光脉冲，李树首先想到的是锁模技术。
锁模激光器里第一个要攻克的是钛宝石激光晶体，现在这种晶体倒是能满足普通的低功率激光脉冲，可要满足30kw的激光脉冲，就需要再次基础上提高指标了。
即便在未来，钛宝石激光晶体都是对华夏禁运的只能自己制造。
“小瑶，未来咱们先建立完整的晶体生长体系，你应该这样来搭建……”李树开始和马瑶讨论起来。
听着李树详细的介绍，马瑶一开始很感兴趣，不过慢慢的开始皱眉，她叹了一口气道：“这么多步骤，需要这么多设备，危险性还这么大，钱又不够花了。”
李树笑了笑道：“这个项目不能单靠咱们振蓝了，我要想着和科学院周院长商量，让高层想想办法，为这个大国重器想想办法。”
今天的两个目标之外，其实还有一个迫在眉睫的目标，那就是向国家要钱。
李树有信心要到这个钱，因为专家和高层应该知道，为光刻机研发高性能的钛宝石其实有很多好处，不但能用于光刻机，还能用于军工、基础物理研究等方面。
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