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第242章 高强度工作(2 / 2)

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难道问题出在一直被忽略的光源!?

李树随后开始熟练的拆开光刻机的光源查看起来。

光刻机的光源部分,一直没让李树操心,科学院的高能物理研究所提供了很大的技术支持,在DUV深紫外光指标测试的时候,一切都是正常的,但这并不能代表在制程工艺提升之后光源能一直用下去!

李树越想越靠谱,便把所有涉及光源的仪器全都拆了下来。

所有人都被李树奇怪的操作给惊呆了,这意味着已经完工99%的光刻机,现在又变成了60%的进度。

马瑶上前道:“木……老板,镜头确定没有问题?”

李树点点头道:“理论上来说没有问题,应该是光刻机的光源出了问题,大概需要做出较大改变。”

马瑶有些气馁道:“三个月的努力成果现在要回炉重造,坦白说我很难受。”

李树拍拍马瑶的肩膀道:“刚发现问题是最好的啦,这说明振蓝的光刻机已经开始挑战极限了,如果这次能够修正,那我们将具备挑战极紫外光EUV光刻机的条件。”

果然如哲理上说的,问题和失败总伴随着机会。

李树带着光源部分部件,驱车驶向了科学院高能物理研究所,他要和研究所所长袁哲才讨论如何修正光源属性,使其满足目前270纳米光刻制程的光源需求。

同时,他将下一代光刻机用的极紫外光光源和袁哲才进行讨论。

尖端工业设备,通常都要用到高能物理这种基础研究技术,所以李树只要有空,就去找袁哲才讨论物理问题,顺便还能学到物理学的基础知识。

这位研究所所长有个奇怪的爱好,喜欢玩篆刻,在去之前,李树顺路买了一套顶级的芙蓉石头和龙泉印泥,上次去人家就开启昂贵的设备给李树测试光刻机的光源,这次总不能空手去。

像是高能物理研究所这种地方,看起来虽然平平无奇,不过里面干的都是高精尖的事情。

李树刚要进去,却被执勤武警拦了下来。

原来,正好轮到高能物理研究所的执勤武警整体轮值换岗,岗哨武警并不认识李树,所以开始了漫长的汇报、审批流程。

看来,此行还要和袁所长要个通行证才行了。

从超级地图上来看,高能物理研究所在1990年就已经建立了小型粒子对撞设备,开始了高精尖的粒子对撞研究,就在今年年初的时候还联合搞出r轻子质量的精确测定结果这项成果。

过了一会儿,袁哲才和他的助手匆匆赶来,和武警说明了情况,带着李树进入了高能物理研究所。

搞了半天,李树才知道,袁哲才是在开研究会议,若不是武警汇报情况的时候碰巧找到袁哲才助手,走正常的流程,估计要到明天才能见到袁哲才。

正当李树要表达歉意的时候,袁哲才笑道:“既然来了,就一起开会好了,我们某些设备需要的轴承,还得托你提供。”

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